首先解釋一下精度的概念。用戶關注的精度，實際上包含了精密度和準確度兩項不同的內容。用戶所需求的精度儀器一方面要有好的測量精密度，即多次測量的離散型要小，另一方面要有好的準確性，即與真實含量的偏差要小。

 

    精密度即檢測結果的離散性，通常以多次檢測的標準偏差S來計算，客戶如果更關心多次測量的極差，可以用正負二倍標準偏差來換算，D=±2S，意思是任意兩次檢測結果的差有95%的可能性小于D。對于XRF類分析儀器，精密度的保證，是與所分析譜線的強度（計數率）密切相關的，對于同一個樣品，通常譜線強度越，精密度就越好。例如SDD探測器性能優于Si-PIN的一個重要指標就是它允許更的計數通過率，并且保持分辨率不變。

    簡單的計算譜線強度的方法是感興趣區加和（感興趣區邊界線性背景扣除），該算法的重復性誤差較小，可能更容易得到較好的檢測精密度，但這種算法對于重疊譜處理能力很差，在有譜重疊的情況下，難以得到譜線的真實強度。當采用“標準”定量算法時這會帶來很大的準確度方面的問題，但對于后面將要提到的折線法卻是有利的，因為這種算法的特殊性（非標準算法）可以使經由不準確的譜線強度得到的含量結果也“看起來很美”。通常，在科學、嚴謹的XRF分析軟件中為了得到較好的定量準確度，會用到解譜算法，在有重疊譜的時候，能夠將譜線強度計算的盡量準確。這也是為什么我們采用解譜算法而不是前述簡單強度算法的原因。

    基于XRF的特點，即元素特征X射線的強度與元素含量之間不是簡單的一元函數關系，它不僅與該元素的含量有關系，還與共存元素的含量有關系，即通常所說的基體吸收和增強效應。在該情況下為了得到好的定量準確度，從事XRF研究的學者們做了大量的工作提出了各種定量算法，簡單地可以分為經驗系數法和基本參數法兩大類 （理論影響系數法也是一種經常被提到的方法，它是一種介于經驗系數法和基本參數法之間的一類算法）。